Anwendungen von Titan-Targets
Um das Jahr 2000 begann die Europäische Union mit der Konzeption und Umsetzung der „RoHS-Richtlinie“ und der „WEEE-Richtlinie“, und Galvanikprodukte brauchten dringend Alternativen. Deshalb begannen wir, die PVD-Technologie als Ersatz für die Galvanisierung in Anspruch zu nehmen.
Titanziele sind rund oder quadratisch und bestehen aus reinem Titan oder einer Titanlegierung. „Target“ ist hier ein Begriff, der hauptsächlich in Bereichen verwendet wird, in denen es um physikalische Verdampfungs- oder Sputterprozesse geht. Titan-Targets dienen als Targeting-Materialien zur Bereitstellung von Grundstoffen für Produktbeschichtungen.
Farbe des Löffels unter verschiedenen PVD-Zielen
Die Technologie der physikalischen Gasphasenabscheidung (PVD) bezieht sich auf die Verwendung physikalischer Methoden unter Vakuumbedingungen, um die Oberfläche einer Materialquelle (fest oder flüssig) zu bombardieren, um sie in gasförmige Atome oder Moleküle zu verdampfen oder teilweise zu Ionen zu ionisieren und durch das Niederdruckmedium zu gelangen. Druckgas- (oder Plasma-)Verfahren, eine Technologie zur Abscheidung dünner Filme mit bestimmten Sonderfunktionen auf der Oberfläche eines Substrats. Die physikalische Gasphasenabscheidung ist eine der wichtigsten Oberflächenbehandlungstechnologien. Zu dieser Zeit waren die am stärksten exponierten Ziele Aluminiumziele, Titanziele, Goldziele usw. Damals wusste ich nur, dass die Zielmaterialien sehr teuer waren.
Heute besprechen wir hauptsächlich Titantargets, zu denen reines Titan und Titanlegierungen gehören. Titantargets weisen die hervorragenden Eigenschaften von Titan selbst auf, wie z. B. ausgezeichnete Korrosionsbeständigkeit (Säure- und Alkalibeständigkeit), hohe Festigkeit und geringe Dichte sowie gute Biokompatibilität, hohe Temperaturbeständigkeit usw. Das Target wird während der PVD „beschossen“. Prozess zur Herstellung von Titanatomen, daher hat seine Oberflächenqualität einen großen Einfluss auf die Qualität des abgeschiedenen Titanfilms. Daher muss das Targetmaterial in der Regel fein gemahlen werden, um eine ausreichend ebene Oberfläche ohne Mikrorisse und Verunreinigungen zu erhalten. Dadurch können eine hohe Sputterrate und eine hohe Reinheit der Folie im Einsatz gewährleistet werden.
Runde Zielscheibe aus hochreinem Titan
Herstellungsverfahren für Titantargets
Auswahl an Titanschwamm (hochreiner Titanschwamm 4N, 4N5, 5N)---Vakuumschmelzen (VAR) (drei Schmelzen)---Schmieden---Walzen---Schruppbearbeitung{{ 8}}Wärmebehandlung---Endbearbeitung- --Fremdprüfung---Qualitätsprüfung---Verpackung (Vakuumverpackung)---Lieferung
Anwendungsgebiete von Titan-Targets
1. Halbleiterindustrie: Titan und seine Mischungen (wie Titannitrid und Titanoxid) werden häufig zur Herstellung von Grenzschichten, Befestigungsfilmen, Sperrschichten usw. verwendet. in Halbleiterausrüstung. Es kann zum Speichern von Metallfilmen auf Siliziumwafern und zum Anschließen anderer elektronischer Komponenten an Rahmenschaltkreise verwendet werden.
2. Beschichtungsindustrie: Titan-Targets werden in der Abgasanalyse (PVD) und der Abgasanalyse (CVD) verwendet, um effektive und robuste Beschichtungen zu liefern. Diese Beschichtungen werden in vielen Bereichen eingesetzt, zum Beispiel für sonnenbetriebenes Kontrollglas in Strukturen, verschleißfeste Hartbeschichtungen für Autoteile und verbrauchssichere Beschichtungen für fossile Energieträger.
3. Optische Industrie: In der optischen Industrie werden Titantargets zur Herstellung von Filmen mit intelligenten, verschleiß- und oxidationssicheren Eigenschaften verwendet. Zu den expliziten Anwendungen gehören Brillenbeschichtungen, Brennpunktkomponenten von Kameras, Teleskope, Vergrößerungslinsen und andere Präzisionsinstrumente.
4. Hochleistungsgeräte: Bei Hochleistungsgeräten wie z. B. Hartplatten besteht die attraktive Schicht der Hartplatte typischerweise aus einer dünnen Titanfolie, die eine hohe Wärmebeständigkeit und Verschleißfestigkeit aufweist.
5. Klinische Geräteindustrie: Im Dentalbereich kann die PVD-Innovation genutzt werden, um Titanfilme auf Zahneinsätzen zu speichern, um den Halt am Knochen zu verbessern und die Biokompatibilität weiter zu verbessern.
